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工商時報【記者涂志豪╱台北報導】

微影設備大廠艾司摩爾（ASML）昨（17）日召開法說會，公佈新一代微影技術－極紫外光（EUV）的研發進度，量產型NXE: 3300B將在第2季出貨，今年可望推出高達11台的潛在出貨量。由於家登（3680）是獲ASML認證的EUV光罩傳送盒的最大供應商之一，今年將成為主要受惠者。

ASML去年提出「客戶聯合投資專案」（Customer Co-Investment Program），已獲得英特爾、台積電、三星等3大半導體廠投資，並加入極紫外光（EUV）及18吋晶圓設備的研發計畫。ASML昨日指出，EUV微影技術已經有了突破性進展，今年可望推出量產型機種並交貨給客戶。

ASML指出，先期生產型（pre-production）EUV設備NEX: 3100已經累積了3萬片的產出，並應用在先前的14奈米邏輯IC製程及22奈米DRAM製程。而今年新一代可量產型的EUV設備NXE: 3300B機台，已經獲得訂單，將在第2季交出第1台設備予客戶，而今年潛在的出貨量可達11台。

ASML已加速EUV技術發展，其中在量產能力上也有所突破，若以目前的速度來看，2014年中旬左右，每小時就可處理70片的晶圓。另外，18吋晶圓的研發計畫已開始進行，2016年先期生產型設備就將交貨，量產型設備將在2018年交貨。

ASML為了建置完整的生產鏈，找上了家登為主要的光罩傳送盒供應商。家登不僅是全球第一發表18吋前開式晶圓傳送盒與多功能晶圓傳送盒，極紫外光光罩盒也是全球唯二通過大廠認證的高階產品。

法人指出，由英特爾、三星、台積電、ASML合作進行的EUV開發計畫，家登亦拿下逾半光罩盒訂單。隨著ASML量產機台在第2季開始交貨，而今年又將有11台的出貨預期，代表家登EUV光罩傳送盒的接單將會出現倍數成長。